如圖所示，碳分子篩及制氧分子篩對氧、氮及稀有氣體吸附量有很大差異。碳分子篩是一種內部有很多微孔的物質，變壓吸附的 原理就是在一定的壓力下，利用空氣中的氧、氮在碳分子篩微孔的吸附量的差異，達到氧氮分離的目的。在壓力升高時，碳分子篩吸氧產(chǎn)氮，壓力降至常壓時，碳分 子篩脫附氧氣再生。高純變壓吸附制氧設備通常有四只吸附塔，分為兩級吸附，第一級的兩只吸附塔通過碳分子篩的吸附排氮、脫附排氧，生產(chǎn)純度為 45%-50%的氧氣，第二級的兩只吸附塔通過制氧分子篩的吸附排氧、脫附稀有氣體及雜質，生產(chǎn)純度為98%的高純工業(yè)氧氣。