制氧機的變壓吸附分離技術被發(fā)明以來,廣泛地應用于氣體混合物的分離精制。
首先,1958 年,Skarstorm 申請專利并應用此技術分離空氣。同時,Gerin de Montgareuil 和Domine 也在法國申請專利。兩者的差別是,Skarstorm 循環(huán)在床層吸附飽和后,用部分低壓的輕產品組分沖洗解吸,而Gerin-Domine 循環(huán)采用抽真空的辦法解吸。
1960 年大型變壓吸附法空氣分離的工業(yè)化裝置建成。
1961 年用變壓吸附分離工藝從石腦油中回收高純度的正構烷溶劑,并命名為Isosiv 過程,1964年完善了從煤油餾分中回收正構烷烴的工藝。
1966 年利用變壓吸附技術提氫的四塔流程裝置建成,20 世紀70 年代后采用四塔以上的多塔操作,并向大規(guī)模、大型化發(fā)展。
1970 年又建成分離和回收氧的工業(yè)化裝置,用于環(huán)保工業(yè)污水處理生化的需要。同時被廣泛用于從石腦油中提取正構烷烴,再經異構化,將異構化產物加入汽油餾分中,以提高其辛烷的Hysomer過程。
1975 年試制成醫(yī)用富氧濃縮器,1976 年開發(fā)了用碳分子篩變壓吸附制氮的工藝并工業(yè)化,隨后采用5A沸石分子篩抽真空制氮工藝。到1983年德國推出性能優(yōu)良的制氮用碳分子篩。到1979年為止,約有一半的空氣干燥器采用Skarstrom 的變壓吸附工藝。變壓吸附用于空氣或工業(yè)氣體的干燥比變溫吸附更為有效。1980年開發(fā)了快速變壓吸附工藝(又稱為參數泵變壓吸附)。
從20 世紀90年代起,由于電能緊張,變壓吸附制氧又在煉鋼等領域占有了一席之地。